日前，据台湾《经济日报》报道，三星电子副总裁李在镕在荷兰ASML访问后，已确定获得附加极紫外掩模对准设备。
报道称，业界认为，ASML是全球唯一的高端芯片制程设备制造商，EUV设备的稳定供应是三星超越TSMC，抢夺全球代工龙头的关键。
据韩媒Business Korea报道，三星15日表示，李在镕14日访问ASML荷兰总部时，与ASML首席执行官彼得·文宁克等高管会面，广泛讨论半导体技术的未来，市场前景以及EUV设备的供应，并获得附加EUV掩模对准设备。
此前业内有消息称，去年ASML EUV设备全年出货量为48台，其中三星拿下15台，TSMC安排20台。
根据该报告，ASML今年在EUV的mask aligner出货量估计为51台，包括三星预定的18台和TSMC保证的至少22台。
据韩媒报道，如果三星这次能拿下更多的EUV机，今年至少能拿到18台，但三星并没有详细说明这次收购的附加EUV设备内容。
2000年代，三星开始与ASML合作开发半导体工艺和设备2012年，三星在ASML投资，以加强双方的合作伙伴关系
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